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組分名稱及濃度范圍

平衡氣

CO2 5-10%

N2

CO2 5ppm O2 10-20%

N2

CO 0.3% C2H2 0.3% CH4 0.3% O2 20.9%

N2

CO 0.2-0.3% He 10% O2 20%

N2

F2 0.1-0.25% Ar 3-5%

Ne

F2 0.1-0.2% Ar 1-3% He 2-3%

Ne

F2 0.2-0.3% Ar 3-5% 9-11% He 20-30%

Ne

Ar 5-8% He 2-4%

Ne



更新時間:22/04/14 08:54:04  

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